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四探針電阻率測試方法
點擊次數：2344 更新時間：2019-02-25
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之幾的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。2、測試儀結構及工作原理測試儀主機由主機板、電源板、前面板、后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調節電位器、恒流源開關及各種選擇開關均裝在前面板上（見圖2）。后背板上只裝有電源插座、電源開關、四探針頭連接插座、數據處理器連接插座及保險管（見圖3）。機箱底座上安裝了主機板及電源板，相互間均通過接插件聯接。儀器的工作原理如圖1所示：測試儀的基本原理仍然是恒流源給探針頭（1、4探針）提供穩定的測量電流I（由DVM1監測），探針頭（2、3）探針測取電位差V（由DVM2測量），由下式即可計算出材料的電阻率：厚度小于4倍探針間距的樣片均可按下式計算
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